高重频紫外/深紫外皮秒激光器
华创鸿度开发的激光器产品是半导体前道制造设备中量测设备、退火设备工作的核心器件,是影响晶圆制造良率的直接核心耗材,拥有很大发展潜力。同时该系列产品在材料表面检测、激光诱导击穿光谱(LIBS)、激光诱导荧光(LIF)、紫外拉曼光谱仪、激光精细微加工等方面具有独特的技术优势。
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重频最高可实现120MHz高频输出,实现进口替代,助力国产半导体检测
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本产品采取自动换点方案,可极大提高激光器使用寿命,高达20000H+
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优越的光束质量(M²<1.3)
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支持RS232、GATE、TRIG控制,具备PSO功能
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模块化设计,结构稳定,维护便捷